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국립부경대학교 반도체특성화대학사업단

극한환경 반도체 패키징

장비예약

장비 예약 안내
장비 예약 관련 문의는 아래 담당자에게 연락해주시기 바랍니다.
전화 문의 김혜준: 051-629-7813
송유강: 051-629-7810
이메일 문의 김혜준: hjgim@pknu.ac.kr
송유강: yksong@pknu.ac.kr
장비 예약이 필요한 경우, 신청 서식을 작성하여 이메일로 제출해 주시기 바랍니다.
신청서식 다운로드
  • Ellipsometer (광학 측정 장비) 섬네일 파일
    Ellipsometer (광학 측정 장비) 2025.08.01
  • E-Beam and Thermal Evaporation (전자빔 및 열증착 장비) 섬네일 파일
    E-Beam and Thermal Evaporation (전자빔 및 열증착 장비) 2025.08.01
  • Reactive Ion Etching (반응 이온 식각 장비, RIE 시스템) 섬네일 파일
    Reactive Ion Etching (반응 이온 식각 장비, RIE 시스템) 2025.08.01
  • Furnace System (열처리 시스템) 섬네일 파일
    Furnace System (열처리 시스템) 2025.08.01
  • PECVD System (플라즈마 강화 화학 기상 증착 시스템) 섬네일 파일
    PECVD System (플라즈마 강화 화학 기상 증착 시스템) 2025.08.01
  • PVD Sputtering System (물리적 기상증착 스퍼터링 시스템) 섬네일 파일
    PVD Sputtering System (물리적 기상증착 스퍼터링 시스템) 2025.06.30
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